CF4

Hiilitetrafluoridi CF4 on fluorin ja vapaan radikaalin hiilifluoridin lähde, jota käytetään erilaisissa kiekkojen etsausprosesseissa . hiilitetrafluoridi CF4 yhdistetään happeaan syövyttämään polysiliconia, pii -dioksidia ja piin nitridiä.} hiilidioksidia ja.}} hiilidioksidia. Kohdistaminen taitomattomilla alueilla . radiotaajuusplasmaympäristössä fluorin vapaiden radikaalien muodossa esiintyy tyypillisen hiilidiiren trifluoridi- tai hiilidifluoridi . korkean levyn hiilidiiren tetrafluoridia voi hallita hyvin prosessointiprosessia, joten kooltaan ja muoto ei ole toisin Erilaisia ​​erityisiä kontrolleja (kuten puolijohde-anisotropian hallinta), kun he kohtaavat ilmaa tai happea {. sen korkean puhtaan kaasua ja korkean levyn hiilidiilitetrafluoridikaasun ja korkean puhtaan kationin seosta voidaan käyttää laajasti kynttilänpoistossa, silikonilasi ja piilalasit, piilalasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihilasit, piihiilinen kaasu, piihilasit, piihilasit, piihiilesiliikenteen nitridi, volframi -ohutkalvomateriaalit .

Hiilitetrafluoridi-CF4: llä on anestesiavaikutus korkeissa pitoisuuksissa . sen korkean säilytyskaasun ja sen sekoittumisen korkean levinnän happea, ovat eniten käytettyjä plasmakaasuja, jotka ovat mikroelektroniikkateollisuuden .. Niitä voidaan käyttää myös alhaisina temperatuureilla jääkityslaitteina ja matalalla tahdissa.}}}}} {7} {7: llä. ja lämpöstabiilisuus, inertti monille reagensseille, eikä hydrolysoi 1000 asteessa . Se ei reagoi kuparin, nikkelin ja volframin kanssa huoneenlämpötilassa . johtuen CF4: n CF4: n erittäin vahvasta kemiallisesta stabiilisuudesta.

Tetrafluorimetaania (CF4) on korkea stabiilisuus ja se on täysin flammaattinen kaasu . Se ei reagoi happojen, alkalin ja hapettimien kanssa huoneenlämpötilassa, ei reagoi siirtymämetallien, kuten Cu: n, NI: n, W: n ja MO: n kanssa, alle 900 asteen kanssa, ja ei reagoi hiilen kanssa, vety ja CH4 Ammoniakkisodiummetallireagenssit huoneenlämpötilassa, ja CF4 voi reagoida alkalimetallien, alkalisen maa-metallien ja SIO2: n kanssa korkeissa lämpötiloissa vastaavien fluorien tuottamiseksi . cf4 alkaa hajottaa 800 asteen ja voi reagoida CO: n ja CO2: n kanssa, joihin on myös koetettu COF2, joka on kokenut jonkin verran Sähkökaarin. CF4 hiilikaarin lämpötiloissa muiden fluorihiilivetyjen syntetisoimiseksi .