Hiilittrafluoridi CAS 75-73-0

Hiilittrafluoridi CAS 75-73-0

Hiilitetrafluoridi on mikroelektroniikkateollisuuden laajimmin käytetty plasman kynttilän kaiverruskaasu . Se on seos korkean levyn kaasun ja korkean levyn hiilidiiren tetrafluoridikaasua, jolla
Lähetä kysely
Kuvaus
Tekniset parametrit

Hiilittrafluoridi CAS 75-73-0

Tuotteen nimi: Hiilitetrafluoridihiilitetrafluoridikaasutetrafluorimetaani -perfluorihiili

Tuotelaatu: Analyyttinen laatu

Tuotteen puhtaus: 99,999%

Pakkausmääritys: 40L

Kiinalainen nimi: hiilitetrafluoridi

Kiinalainen alias: tetrafluorimetaani

CAS: 75-73-0

Einecs: 200-896-5

Molekyylinen kaava: CF4

Molekyylipaino: 88

Fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet: - Sulamispiste: -184 aste

Hiilitetrafluoridi on mikroelektroniikkateollisuuden laajimmin käytetty plasman kynttilän kaiverruskaasu . Se on seos korkean levyn kaasun ja korkean levyn hiilidiiren tetrafluoridikaasua, jolla

1. Sitä voidaan käyttää laajasti pii-, piisidioksidin, piinitridin, fosforin pii -lasi- ja vongsten -ohutkalvomateriaalien kynttilän kaiverruksessa . pii- ja piin dioksidijärjestelmille, kun käyttämällä vrt. Voidaan saada selektiivisyys 45: 1, mikä on erittäin hyödyllistä syövyttäessäsi piihidioksidikalvoja polysilicon -porteilla .

2. sitä käytetään myös laajasti elektronisessa laitteen pintapuhdistuksessa, aurinkokennojen tuotannossa, lasertekniikassa, kaasufaasin eristyksessä, matalan lämpötilan jäähdytyksessä,

Vuotojen havaitsemisaine, avaruusraketin asenteen hallinta ja puhdistamisaine tulostetussa piirin tuotannossa .

3. erittäin vahvan kemiallisen stabiilisuuden vuoksi CF4: tä voidaan käyttää myös metallin sulatus- ja muoviteollisuudessa .

4. hiilitetrafluoridilla on hyvä happen liukoisuus, joten tutkijat käyttävät sitä korvaamaan tavallinen pakattu ilma erittäin syvän sukelluskokeessa . sitä on käytetty onnistuneesti hiirillä, ja hiiret voivat silti paeta turvallisesti syvyydessä 275-366 metriä .}}}}}}}}}

Suositut Tagit: Hiilitetrafluoridi CAS 75-73-0, Kiinan hiiliterafluoride CAS 75-73-0 valmistajat, toimittajat, tehdas